OLED之痛——蒸镀工艺

OLED显示技术作为一种主动式发光技术，经过十多年的发展后终于在小尺寸手机和大尺寸电视市场取得了一定的突破，并以其绝佳的色彩、对比和未来在柔性上的前景，越来越受到消费者的喜爱。但说到OLED，就不得不提到OLED工艺技术之痛（瓶颈技术）—蒸镀。

由于OLED器件中有机薄膜的总膜厚为100～200nm，而且是有机材料，在CVD、蒸镀、涂布、印刷等成膜技术中，目前量产性较好的就是蒸镀技术了（尤其对小分子OLED材料来说）。

蒸镀在OLED制造工艺中应用，它的好坏直接影响到OLED屏幕显示，另外，目前主要蒸镀关键技术和设备掌握在日本厂家手中（OLED屏制造的代表——三星，它使用的蒸镀机就是佳能旗下的子公司——CanonTokki。），且市场蒸镀设备也不多，这也是OLED屏幕成本高的一个重要原因。

真空蒸镀

这里蒸镀就是真空中通过电流加热，电子束轰击加热和激光加热等方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，它们随即以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜。在较高的真空度下：不仅蒸发出来的物质原子或分子具有较长的平均自由程，可以直接沉积到衬底表面上;还可以确保所制备的薄膜具有较高的纯净度。

OLED显示技术——蒸镀

主要应用于RGB（红绿蓝）三色排列的典型OLED屏幕。我们所知蒸镀是OLED制造工艺的精华部分，而且不仅是发光材料，金属电极等等之类也是这么蒸上去的。但实际操作还是非常复杂的，比如如何控制像素区域，像素要怎么对齐，还有控制蒸上去的薄膜厚度，什么前处理、蒸镀室的真空度等。